STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING.

a

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Ayu Ketut Umiati, Ngurah
Format: Theses
Language:Indonesia
Online Access:https://digilib.itb.ac.id/gdl/view/527
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Institution: Institut Teknologi Bandung
Language: Indonesia
id id-itb.:527
spelling id-itb.:5272017-09-27T14:40:51ZSTUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING. Ayu Ketut Umiati, Ngurah Indonesia Theses INSTITUT TEKNOLOGI BANDUNG https://digilib.itb.ac.id/gdl/view/527 a text
institution Institut Teknologi Bandung
building Institut Teknologi Bandung Library
continent Asia
country Indonesia
Indonesia
content_provider Institut Teknologi Bandung
collection Digital ITB
language Indonesia
description a
format Theses
author Ayu Ketut Umiati, Ngurah
spellingShingle Ayu Ketut Umiati, Ngurah
STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING.
author_facet Ayu Ketut Umiati, Ngurah
author_sort Ayu Ketut Umiati, Ngurah
title STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING.
title_short STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING.
title_full STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING.
title_fullStr STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING.
title_full_unstemmed STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PbZr0,625Ti0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING.
title_sort studi struktur kristal film tipis pbzr0,625ti0,375o3 yang ditumbuhkan dengan metoda dc unbalanced magnetron sputtering.
url https://digilib.itb.ac.id/gdl/view/527
_version_ 1820662747956772864