Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

Tổng quan về hệ vi cơ điện tử và hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất kiểu áp trở. Xây dựng hệ đo cảm biến áp suất.

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Nguyễn, Hữu Khánh Nhân
Other Authors:	Vũ, Ngọc Hùng
Format:	Theses and Dissertations
Language:	Vietnamese
Published:	ĐHCN 2017
Subjects:	Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic
Online Access:	http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/42180
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Institution:	Vietnam National University, Hanoi
Language:	Vietnamese

id	oai:112.137.131.14:VNU_123-42180
record_format	dspace
spelling	oai:112.137.131.14:VNU_123-421802018-08-03T08:03:34Z Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) Nguyễn, Hữu Khánh Nhân Vũ, Ngọc Hùng Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic Tổng quan về hệ vi cơ điện tử và hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất kiểu áp trở. Xây dựng hệ đo cảm biến áp suất. 2017-05-17T08:09:58Z 2017-05-17T08:09:58Z 2008 Thesis Nguyễn, H. K. N. (2008). Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS). Luận văn thạc sỹ, Đại học Quốc gia Hà Nội, Việt Nam V_L0_01719 http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/42180 vi Luận văn Ngành Vật liệu và Linh kiện nano (Full) 99 tr. + CD-ROM application/pdf ĐHCN
institution	Vietnam National University, Hanoi
building	VNU Library & Information Center
country	Vietnam
collection	VNU Digital Repository
language	Vietnamese
topic	Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic
spellingShingle	Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic Nguyễn, Hữu Khánh Nhân Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
description	Tổng quan về hệ vi cơ điện tử và hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất kiểu áp trở. Xây dựng hệ đo cảm biến áp suất.
author2	Vũ, Ngọc Hùng
author_facet	Vũ, Ngọc Hùng Nguyễn, Hữu Khánh Nhân
format	Theses and Dissertations
author	Nguyễn, Hữu Khánh Nhân
author_sort	Nguyễn, Hữu Khánh Nhân
title	Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
title_short	Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
title_full	Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
title_fullStr	Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
title_full_unstemmed	Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
title_sort	nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (mems)
publisher	ĐHCN
publishDate	2017
url	http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/42180
_version_	1680968387081011200

Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

Similar Items