Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

• Main Author: Nguyễn, Hữu Khánh Nhân
• Other Authors: Vũ, Ngọc Hùng
• Format: Theses and Dissertations
• Language: Vietnamese
• Published: ĐHCN 2017
• Subjects: Công nghệ vi cơ điện tử; Cảm biến áp suất; Khoa học vật liệu; Vật liệu bán dẫn silic
• Online Access: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/42180
• Institution: Vietnam National University, Hanoi

Tổng quan về hệ vi cơ điện tử và hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất kiểu áp trở. Xây dựng hệ đo cảm biến áp suất.