Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

• 主要作者: Nguyễn, Hữu Khánh Nhân
• 其他作者: Vũ, Ngọc Hùng
• 格式: Theses and Dissertations
• 語言: Vietnamese
• 出版: ĐHCN 2017
• 主題: Công nghệ vi cơ điện tử; Cảm biến áp suất; Khoa học vật liệu; Vật liệu bán dẫn silic
• 在線閱讀: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/42180

Tổng quan về hệ vi cơ điện tử và hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất kiểu áp trở. Xây dựng hệ đo cảm biến áp suất.