Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
Tổng quan về hệ vi cơ điện tử và hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất kiểu áp trở. Xây dựng hệ đo cảm biến áp suất.
Saved in:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | |
| 格式: | Theses and Dissertations |
| 語言: | Vietnamese |
| 出版: |
ĐHCN
2017
|
| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/42180 |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|
| 機構: | Vietnam National University, Hanoi |
| 語言: | Vietnamese |