Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
Tổng quan về hệ vi cơ điện tử MEMS và hiệu ứng điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Tìm hiểu về công nghệ chế tạo và các vật liệu ứng dụng trong MEMS. Hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic cho phép tìm ra quy tắc thiết kế các mô hình cảm biến cũng như cho phép tối ưu hóa các thiế...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | Theses and Dissertations |
| اللغة: | other |
| منشور في: |
Đại học Quốc gia Hà Nội
2016
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/8447 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
كن أول من يترك تعليقا!