A study of air molecular contamination (AMC) and volatile organic compounds (VOC) in new AMC/VOC controlled cleanroom
Airborne Molecular Contaminants (AMC) may cause different flaws on an electronic device [1]. It is especially so in the semiconductor manufacturing sector. Monitoring of AMC is becoming essential when it comes to managing cleanroom for the present production of semiconductor devices as it advances i...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Final Year Project |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Nanyang Technological University
2020
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/136645 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|