Parallel unstructured grid DSMC for the study of molecular gas dynamics in semi-conductor manufacturing

Traditionally gas flow has been modelled at the macroscopic level. This model regards gas as a continuum medium and is described in terms of its macroscopic parameters, such as velocity, pressure and temperature. The Navier-Stokes equations provide an accurate description of the gas as a continuum....

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Singh, Abhinav.
مؤلفون آخرون: Zhao, Yong
التنسيق: Theses and Dissertations
منشور في: 2008
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://hdl.handle.net/10356/5784
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!