The use of circular optical grating for measuring angular rotation of mirrors
This paper explores the feasible use of circular optical grating for measuring the rotation of mirrors that are commonly found in micro-systems. Both theoretical and experimental results show that distortion of the circular grating that is projected onto the mirror surface is a simple function of...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | مقال |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2011
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/91296 http://hdl.handle.net/10220/6701 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Nanyang Technological University |
| اللغة: | English |