Micro-RBS study of nickel silicide formation
Two MeV He+ microbeam-Rutherford backscattering (μ-RBS) is used to obtain information on silicide formation in patterned nickel silicide samples under different annealing conditions. It is important to characterize silicide formation processes in such laterally non-homogenous samples in order to und...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | مقال |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2013
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/97223 http://hdl.handle.net/10220/10531 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|