Displacement and resonance behaviors of a piezoelectric diaphragm driven by a double-sided spiral electrode
This paper presents the design of a lead zirconate titanate (PZT) diaphragm actuated by double-sided patterned electrodes. Au/Cr electrodes were deposited on bulk PZT wafers by sputtering while patterned by a lift-off process. SU-8 thick film was used to form the structural layer. Double-spiral elec...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | مقال |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2013
|
| الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/97711 http://hdl.handle.net/10220/12044 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Nanyang Technological University |
| اللغة: | English |