AES analysis of nitridation of Si(100) by 2-10 keV N+ 2 ion beams

• المؤلفون الرئيسيون: Pan, J.S., Wee, A.T.S., Huan, C.H.A., Tan, H.S., Tan, K.L.
• مؤلفون آخرون: PHYSICS
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/113226

Applied Surface Science