AES analysis of nitridation of Si(100) by 2-10 keV N+ 2 ion beams

Applied Surface Science

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Pan, J.S., Wee, A.T.S., Huan, C.H.A., Tan, H.S., Tan, K.L.
مؤلفون آخرون: PHYSICS
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/113226
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore