Thermal stability of rare-earth based ultrathin Lu2 O3 for high- k dielectrics

10.1116/1.2749526

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Darmawan, P., Lee, P.S., Setiawan, Y., Lai, J.C., Yang, P.
مؤلفون آخرون: SINGAPORE SYNCHROTRON LIGHT SOURCE
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/116652
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore