TEM Study of a RTO Oxide-Interfacial Layer on Epitaxial-Cobalt Silicide (CoSi2) Formation

Master's

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Ng Khim Hong
مؤلفون آخرون: SINGAPORE-MIT ALLIANCE
التنسيق: Theses and Dissertations
منشور في: 2019
الوصول للمادة أونلاين:https://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/154219
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore