Acoustic phonon characterisation of fixed-fixed beam MEMS switch

• المؤلفون الرئيسيون: Annamalai, M., Palaniapan, M., Wong, W.-K.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/54876

10.1049/el.2009.3691