Controlled synthesis of aligned carbon nanotube arrays on catalyst patterned silicon substrates by plasma-enhanced chemical vapor deposition

• المؤلفون الرئيسيون: Wang, H., Lin, J., Huan, C.H.A., Dong, P., He, J., Tang, S.H., Eng, W.K., Thong, T.L.J.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Carbon nanotubes; Lithography; Pattern; PE-CVD; SEM
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/55424
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1016/S0169-4332(01)00391-9