Residual stress and profile evaluation on an optical MEMS device

Society for Experimental Mechanics - SEM Annual Conference and Exposition on Experimental and Applied Mechanics 2009

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Tay, C.J., Quan, C., Akkipeddi, R., Gopal, M.
مؤلفون آخرون:	MECHANICAL ENGINEERING
التنسيق:	Conference or Workshop Item
منشور في:	2014
الموضوعات:	Fabry-Perot filter Raman spectroscopy Residual stresses White light interferometry
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/73814
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة:	National University of Singapore

مواد مشابهة