Warpage measurement using projection speckle correlation method and microscopic interferometry

• المؤلفون الرئيسيون: Sun, W., He, X.Y., Quan, C.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Continuous wavelet transform (CWT); Newton's ring interferometry; Projection speckle correlation method; Savitzky-golay differential operator; Warpage
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/74012

10.1117/12.839252