Design, fabrication and Helium Ion Microscope patterning of suspended nanomechanical graphene structures for NEMS applications

10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969824

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Annamalai, M., Mathew, S., Viswanathan, V., Fang, C., Pickard, D.S., Palaniapan, M.
مؤلفون آخرون:	ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق:	Conference or Workshop Item
منشور في:	2014
الموضوعات:	Graphene Helium Ion Microscope nanomechanical structure
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/83621
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة:	National University of Singapore

مواد مشابهة