Characterization of fluoropolymer films deposited by magnetron sputtering of poly(tetrafluoroethylene) and plasma polymerization of heptadecafluoro-1-decene (HDFD) on (100)-oriented single-crystal silicon substrates

10.1002/sia.1243

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Zhang, Y., Yang, G.H., Kang, E.T., Neoh, K.G., Huang, W., Huan, A.C.H., Lai, D.M.Y.
مؤلفون آخرون:	CHEMICAL & ENVIRONMENTAL ENGINEERING
التنسيق:	Conference or Workshop Item
منشور في:	2014
الموضوعات:	FTIR Plasma polymerization PTFE R.f. sputtering ToF-SIMS XPS
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/92471
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة