An investigation of the Ar+ ion-enhanced reaction of CCl4 on Si(100) by secondary ion mass spectrometry

10.1007/BF00355966

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書目詳細資料
Main Authors: Wee, A.T.S., Huan, C.H.A., Tan, K.L., Tan, R.S.K.
其他作者: PHYSICS
格式: Article
出版: 2014
在線閱讀:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/95764
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機構: National University of Singapore