Secondary ion emission from silicon under 8 keV O2 + and Ar+ ion bombardment

• المؤلفون الرئيسيون: Huan, C.H.A., Wee, A.T.S., Low, H.S.M., Tan, K.L.
• مؤلفون آخرون: PHYSICS
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/97872

10.1016/0042-207X(95)00207-3