Secondary ion emission from silicon under 8 keV O2 + and Ar+ ion bombardment

Secondary ion emission from silicon under 8 keV O2 + and Ar+ ion bombardment

10.1016/0042-207X(95)00207-3

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書目詳細資料
Main Authors:	Huan, C.H.A., Wee, A.T.S., Low, H.S.M., Tan, K.L.
其他作者:	PHYSICS
格式:	Article
出版:	2014
在線閱讀:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/97872
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實物特徵
總結:	10.1016/0042-207X(95)00207-3