Plasma polymerization of hexamethyldisiloxane: Investigation of the effect of carrier gas related to the film properties
In this work we present the influence of carrier gases in the deposition of low-pressure discharge plasma of hexamethyldisiloxane (HMDSO). Plasma polymerized HMDSO films were deposited with an inductively-coupled discharge reactor using Ar and O 2 as carrier gases. The films deposited in Ar containe...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
|---|---|
| التنسيق: | دورية |
| منشور في: |
2018
|
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84880571045&origin=inward http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/47708 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Chiang Mai University |