Electrical properties of a-C: Mo films produced by dual-cathode filtered cathodic arc plasma deposition
Molybdenum-containing amorphous carbon (a-C:Mo) thin films were prepared using a dual-cathode filtered cathodic arc plasma source with a molybdenum and a carbon (graphite) cathode. The Mo content in the films was controlled by varying the deposition pulse ratio of Mo and C. Film sheet resistance was...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , |
|---|---|
| التنسيق: | دورية |
| منشور في: |
2018
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=54049095861&origin=inward http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/60236 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Chiang Mai University |