Spectroscopic electron temperature measurement in methane/helium plasma during diamond-like carbon coating
The electron temperature () was extracted from the capacitively-coupled radio frequency (CCRF) plasma reactor by the spectral line intensity ratio method. The measured intensity ratio of 587.6/706.5 nm from CH4/He plasma was used to calculate the electron temperature under the steady state corona (S...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , |
|---|---|
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Science Faculty of Chiang Mai University
2019
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://it.science.cmu.ac.th/ejournal/dl.php?journal_id=5521 http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/66760 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Chiang Mai University |
| اللغة: | English |