FE modeling of MEMS microphone performance
The finite element method, ANSYS, was used to model and simulate the diaphragm. Both static and dynamic behaviors of corrugation diaphragm like mechanical sensitivity, natural frequency and deflection were analyzed using FEM. Circular, rectangular corrugated diaphragms were studied. Various factors...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Theses and Dissertations |
| منشور في: |
2008
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://hdl.handle.net/10356/5412 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|