A new method to form Au particle on silicon wafer

This project provides a research on a Reactive Ion Etch (RIE) based new method of synthesizing Au catalyst on the silicon substrate for semiconductor nanowires growths. The critical step in synthesizing semiconductor nanowires by VLS growth is the controlled preparation of the Au catalyst size on va...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Yi, Qin.
مؤلفون آخرون: Tang Xiaohong
التنسيق: Final Year Project
اللغة:English
منشور في: 2013
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://hdl.handle.net/10356/54206
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: Nanyang Technological University
اللغة: English