Synthesis of pure C40 TiSi2 for Si wafer fabrication

10.1117/12.456893

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Chen, S.Y., Shen, Z.X., Xu, S.Y., See, A.K., Chan, L.H., Li, W.S.
مؤلفون آخرون: INSTITUTE OF ENGINEERING SCIENCE
التنسيق: Conference or Workshop Item
منشور في: 2014
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/113120
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة