Synthesis of pure C40 TiSi2 for Si wafer fabrication
10.1117/12.456893
محفوظ في:
المؤلفون الرئيسيون: | Chen, S.Y., Shen, Z.X., Xu, S.Y., See, A.K., Chan, L.H., Li, W.S. |
---|---|
مؤلفون آخرون: | INSTITUTE OF ENGINEERING SCIENCE |
التنسيق: | Conference or Workshop Item |
منشور في: |
2014
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/113120 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
Synthesis and characterization of pure C40 TiSi2
بواسطة: Chen, S.Y., وآخرون
منشور في: (2014) -
Structural and mechanism studies of laser induced titanium disilicide
بواسطة: TAN SWEE CHING
منشور في: (2010) -
Characterization of titanium silicide by Raman spectroscopy for submicron IC processing
بواسطة: Lim, E.H., وآخرون
منشور في: (2014) -
Identification of refractory-metal-free C40 TiSi2 for low temperature C54 TiSi2 formation
بواسطة: Li, K., وآخرون
منشور في: (2014) -
Enhancement Effect of C40 TiSi2 on the C54 Phase Formation
بواسطة: Chen, S.Y., وآخرون
منشور في: (2014)