High-quality doped polycrystalline silicon using low-pressure chemical vapor deposition (LPCVD)

• المؤلفون الرئيسيون: Padhamnath, P, Nandakumar, N, Kitz, BJ, Balaji, N, Naval, MJ, Shanmugam, V, Duttagupta, S
• مؤلفون آخرون: SOLAR ENERGY RESEARCH INST OF S'PORE
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: Elsevier BV 2019
• الوصول للمادة أونلاين: https://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/155039

10.1016/j.egypro.2018.09.014