Simplified dual damascene process utilizing PPMSO as an insulator layer

US6323125

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書目詳細資料
Main Authors: SOO, CHOI PHENG, LOH, WYE BOON, CHAN, LAP
其他作者: MATERIALS SCIENCE
格式: Patent
出版: 2012
在線閱讀:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/32603
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機構: National University of Singapore