Highly selective and complete interconnect metal line and via/contact hole filling by electroless plating

US6660636

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: LI, SAM FONG YAU, NG, HOU TEE
مؤلفون آخرون: CHEMISTRY
التنسيق: Patent
منشور في: 2012
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/32659
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore