DEVELOPMENT OF THREE DIMENSIONAL SILICON MICRO- AND NANO-MACHINING
Ph.D
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| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | |
| 格式: | Theses and Dissertations |
| 語言: | English |
| 出版: |
2013
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| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/36427 |
| 標簽: |
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| 機構: | National University of Singapore |
| 語言: | English |