Micromechanical resonators based on silicon two-dimensional phononic crystals of square lattice

10.1109/JMEMS.2011.2174416

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Wang, N., Tsai, J.M.-L., Hsiao, F.-L., Soon, B.W., Kwong, D.-L., Palaniapan, M., Lee, C.
مؤلفون آخرون:	ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق:	مقال
منشور في:	2014
الموضوعات:	CMOS compatible microelectromechanical systems (MEMS) phononic crystal (PnC) resonator
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/56622
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة:	National University of Singapore

مواد مشابهة