Monolithic multichannel secondary electron detector for distributed axis electron beam lithography and inspection

• المؤلفون الرئيسيون: Pickard, D.S., Kenney, C., Tanimoto, S., Crane, T., Groves, T., Pease, R.F.W.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/56693

10.1116/1.2804611