New Actuation Method for Push-Pull Electrostatic MEMS Comb Drive

10.1109/TIE.2003.819567

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Zhao, T., Liang, Y.C.
مؤلفون آخرون:	ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق:	مقال
منشور في:	2014
الموضوعات:	Microactuation Microelectromechanical systems (MEMS) comb drive
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/56790
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة:	National University of Singapore

مواد مشابهة