Determining interfacial properties of submicron low- k films on Si substrate by using wedge indentation technique

• المؤلفون الرئيسيون: Yeap, K.B., Zeng, K., Jiang, H., Shen, L., Chi, D.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/59889

10.1063/1.2749473