Grating-assisted optical microprobing of in-plane and out-of-plane displacements of microelectromechanical devices

• المؤلفون الرئيسيون: Zhou, G., Chau, F.S.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Displacement sensing; Grating light modulation; Interferometer; Microactuators; Microelectromechanical systems (MEMS)
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/60419

10.1109/JMEMS.2006.872234