Nanoindentation techniques in the measurement of mechanical properties of InP-based free-standing MEMS structures

• المؤلفون الرئيسيون: Tay, C.J., Quan, C., Gopal, M., Shen, L., Akkipeddi, R.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/60864

10.1088/0960-1317/18/2/025015