Experimental characterization of the effect of metal dummy fills on spiral inductors

• المؤلفون الرئيسيون: Nan, L., Mouthaan, K., Xiong, Y.-Z., Shi, J., Rustagi, S.C., Ooi, B.-L.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Chemical-mechanical polishing process (CMP); CMOS technology; Metal dummy fills; Microwave measurements; Spiral inductors
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/70242
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1109/RFIC.2007.380889