Characterization of assist features on impact of mask error enhancement factors for sub-0.13 um technology

10.1117/12.458264

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Tan, S.K., Lin, Q., Tay, C.J., Quan, C.
مؤلفون آخرون:	MECHANICAL ENGINEERING
التنسيق:	Conference or Workshop Item
منشور في:	2014
الموضوعات:	0.12 um Assist Features MEEF Phase-shift mask Scattering Bars
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/73247
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

الوصف
الملخص:	10.1117/12.458264

مواد مشابهة