Rigorous diffraction analysis using geometrical theory of diffraction for future mask technology

• المؤلفون الرئيسيون: Chua, G.S., Tay, C.J., Quan, C., Lin, Q.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Diffraction coefficients; Geometrical theory of diffraction; Optical proximity correction; Phase shift masks; Time-domain finite-difference algorithm
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/73819
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1117/12.536160