Modeling of the optical torsion micromirror

• المؤلفون الرئيسيون: Zhang, X.M., Chau, F.S., Quan, C., Liu, A.Q.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL & PRODUCTION ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/75040

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering