Electrical characterization of radio frequency sputtered hydrogenated amorphous silicon carbide films

Journal of Applied Physics

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Choi, W.K., Han, L.J., Loo, F.L.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/80388
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!