High-κ Ir/TiTaO/TaN capacitors suitable for analog IC applications

10.1109/LED.2005.851241

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Chiang, K.C., Huang, C.C., Chin, A., Chen, W.J., McAlister, S.P., Chiu, H.F., Chen, J.-R., Chi, C.C.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الموضوعات:
Ir
MIM
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/82472
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore