High-temperature properties of a low dielectric constant organic spin-on glass for multilevel interconnects

10.1366/0003702011953469

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Wang, C.Y., Shen, Z.X., Zheng, J.Z.
مؤلفون آخرون: PHYSICS
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الموضوعات:
TGA
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/96823
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!