SiC<inf>x</inf>H<inf>y</inf>-based hydrophobic thin films with good chemical and mechanical properties synthesized by PECVD at various substrate temperatures
© 2015 Elsevier B.V. This work investigates on chemical and mechanical resistance of hydrophobic films; prepared using radio frequency (RF) plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method, by varying substrate temperature. For this work, Hexamethyldisilane (HMDS) is used as the precursor, w...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | دورية |
| منشور في: |
2018
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84942981864&origin=inward http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/44106 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|