Effects of step-deposition on structures and properties of transparent conducting aluminum-doped zinc oxide films prepared by DC magnetron sputtering

The 2 wt% aluminum-doped zinc oxide films (AZO) was sputtered on corning glass plate at temperatures of 30-200 °C by DC magnetron sputtering using ceramic target. The microstructures and electrical resistivity of thin films were investigated by scanning electron microscope (SEM) and the van der Pauw...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Tohsophon T., Sirikulrat N.
التنسيق: مقال
اللغة:English
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-33748295592&partnerID=40&md5=b92a90d254bc0402b8589e8a7bd5d2b0
http://cmuir.cmu.ac.th/handle/6653943832/5056
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!