3D simulations on surface growth via chemical vapour deposition: Kinetic monte carlo investigation
In this study, we used the kinetic Monte Carlo simulation to investigate the growth dynamic of the films on a substrate by imitating the chemical vapour deposition process. As a prototype, the system was confined into three-dimensional slap where the deposit chamber was divided into array grids. The...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
|---|---|
| التنسيق: | دورية |
| منشور في: |
2018
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84901420608&origin=inward http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/53492 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|