Damp heat stability and annealing behavior of aluminum doped zinc oxide films prepared by magnetron sputtering

The damp heat stability and subsequent vacuum annealing behavior of aluminum doped zinc oxide (AZO) films was investigated using Hall effect measurements, X-ray diffraction (XRD) and optical spectrometry techniques. The AZO films were deposited on glass or silicon wafers using reactive and non-react...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: T. Tohsophon, J. Hüpkes, S. Calnan, W. Reetz, B. Rech, W. Beyer, N. Sirikulrat
التنسيق: دورية
منشور في: 2018
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=33646538800&origin=inward
http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/61741
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!